Lobster200Z300S-T0X5-V Wafer Robot

Type

Manchot

Spécification appliquée

~ 300

Charge utile nominale

0.5KG

Degré de liberté

3

Gamme de mouvement

Axe de levage (Z)

300mm

Axe rotatif (T)

340deg

Axe d'étirement (R)

400mm

Vitesse maximale

Axe de levage (Z)

300 mm/s

Axe rotatif (T)

400deg/sec

Axe d'étirement (R)

700 mm/s

Caractéristiques

1) environnement de vide.

2) bras robotique Longueur: 200mm.

3) entraînement direct, structure compacte

4) Capteur de cartographie pour détecter si les plaquettes sont là, si elles sont recroisées ou inclinables.

5) Les spécifications peuvent être personnalisées selon les exigences.

Précision de repositionnement

± 0.1mm

Taux de fuite

1*10E-6 Pa

Propreté

ISO Class1

Interface

I/O interface

4 entrées numériques configurables;

4 sorties numériques configurables;

8 entrées numériques générales;

8 sorties numériques générales;

(Re-extensible 8 entrées/sorties numériques).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Protocole de communication

Modbus-RTU/TCP 、 Socket

Longueur du bras (R)

200mm

Accident vasculaire cérébral vertical (Z)

150mm

Hauteur de la table de la machine (H)

868mm

Longueur de l'actionneur (L)

Basé sur la demande

Hauteur de la table à la position descendante de l'AVC (H)

120mm