Lobster185Z340D-T2X0-C Wafer Robot

Type

Deux bras

Spécification appliquée

~ 300

Charge utile nominale

2KG

Degré de liberté

4

Gamme de mouvement

Axe de levage (Z)

340mm

Axe rotatif (T)

340deg

Axe d'étirement (R)

360mm

Vitesse maximale

Axe de levage (Z)

400 mm/s

Axe rotatif (T)

260deg/sec

Axe d'étirement (R)

1500 mm/s

Caractéristiques

1) Environnement Cleanroom.

2) Longueur du bras robotique: 135mm; 185mm.

3) La structure à deux bras raccourcit le temps de fonctionnement du remplacement de la plaquette.

4) Capteur de cartographie pour détecter si les plaquettes sont là, si elles sont recroisées ou inclinables.

5) Les spécifications peuvent être personnalisées selon les exigences.

Précision de repositionnement

± 0.1mm

Taux de fuite

-

Propreté

100 de classe

Interface

I/O interface

4 entrées numériques configurables;

4 sorties numériques configurables;

8 entrées numériques générales;

8 sorties numériques générales;

(Re-extensible 8 entrées/sorties numériques).

Ethernet

1

USB

2

RS232/RS485

1

Protocole de communication

Modbus-RTU/TCP 、 Socket

Longueur du bras (R)

185mm

Accident vasculaire cérébral vertical (Z)

340mm

Hauteur de la table de la machine (H)

605mm

Longueur de l'actionneur (L)

Basé sur la demande

Hauteur de la table à la position descendante de l'AVC (H)

250mm